日本SMC流量傳感器的工作原理

●用于空氣

適用液體：空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳
空氣質量等級為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●用于去離子水，化學品

適用液體：去離子水
超純水
不會腐蝕管道材料的液體。

●用于水

適用液體：
水（50％）和乙二醇（50％）的水混合物
 

●卡曼漩渦

當細長物體（渦流發生器）放置在流動中時，在下游側產生往復渦流。這些渦流在某些條件下是穩定的，并且它們的頻率與流速成比例，得到下面的公式。

f = k×v 

f：渦旋頻率v：流速k：比例常數（由渦流發生器的尺寸和形狀決定）。因此，可以通過檢測該頻率來測量流速。

●熱式（MEMS）

該MEMS傳感器芯片由上游溫度測量傳感器（Ru）和下游溫度測量傳感器（Rd）組成，它們從安裝在膜上的鉑薄膜涂層加熱器（Rh）的中心對稱放置，以及環境溫度傳感器（ Ra）用于測量氣體溫度。
原理如下圖所示，Ru和Rd之間的電阻差異與流速成正比，因此電阻的測量和分析可以顯示氣體的流動方向和速度。
Ra用于補償氣體和/或環境溫度。



該流量開關使用L / min作為流量指示器單元。質量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉換和顯示。

對于空氣
適用液體：空氣，氮氣，氬氣，二氧化碳
空氣質量等級為JIS B 8392.1-1。1.2至1.6.2，ISO 8573.1-1。1.2至1.6.2。

●熱敏型（熱敏電阻）

加熱的熱敏電阻安裝在通道中，當熱敏電阻被引入通道時，流體從熱敏電阻吸收熱量。熱敏電阻的電阻值隨著熱量的增加而增加。由于電阻值增加比與流速具有均勻的關系，因此可以通過測量電阻值來檢測流速。為了進一步補償流體和環境溫度，溫度傳感器也內置在開關中，以便在工作溫度范圍內進行穩定的測量。



該流量開關使用L / min作為流量指示器單元。質量流量在0℃和101.3kPa以及20℃和101.3kPa的條件下轉換和顯示。